為超LSI技術(shù)研究所研制的步進(jìn)機(jī)試行機(jī)1號(hào)于1978年7月完成。兩個(gè)月以后，超LSI技術(shù)研究所對(duì)佳能研制的等倍型曝光設(shè)備、日本光學(xué)研制的縮小投影型曝光設(shè)備，也就是步進(jìn)機(jī)，同時(shí)進(jìn)行了發(fā)布。

超LSI技術(shù)研究所對(duì)我們的研發(fā)工作給予了很高的評(píng)價(jià)。在此之前，美國(guó)馬薩諸塞州著名的精密儀器企業(yè)GCA公司已經(jīng)將縮小投影型曝光設(shè)備進(jìn)行了批量生產(chǎn)。此時(shí)，步進(jìn)機(jī)作為新一代半導(dǎo)體制造設(shè)備的主角正式登上了世界的舞臺(tái)。

對(duì)于剛剛涉足步進(jìn)機(jī)領(lǐng)域的尼康來(lái)說(shuō)，GCA公司可謂最大的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。前文提到的前輩脅本先生，他開(kāi)發(fā)的超顯微尼克爾鏡頭當(dāng)時(shí)最大的客戶之一就是GCA公司。

其實(shí)，我跟脅本先生兩個(gè)人與GCA公司之間還有另外一層淵源。

那大概是1972年的事情?？偛课挥诿绹?guó)波士頓的半導(dǎo)體制造機(jī)械企業(yè)DBM公司的總經(jīng)理來(lái)日本與我和脅本先生見(jiàn)了面。這家公司后來(lái)被GCA公司收購(gòu)。雖然是步進(jìn)機(jī)開(kāi)發(fā)的核心內(nèi)容，但當(dāng)時(shí)我們還是對(duì)DBM公司總經(jīng)理威爾先生透露了使用有尼康鏡頭的縮小投影型曝光設(shè)備（步進(jìn)機(jī)）的研究理念。

步進(jìn)機(jī)的構(gòu)造，簡(jiǎn)單說(shuō)來(lái)就是與顯微鏡正好相反。顯微鏡是將微小的事物通過(guò)鏡頭放大以至可以用肉眼觀察、拍攝。而步進(jìn)機(jī)則是將擴(kuò)大畫(huà)好的電路圖通過(guò)鏡頭縮小，再刻入芯片。問(wèn)題是，可以刻入的面積只有10毫米見(jiàn)方。因此需要一種技術(shù)能使芯片以步進(jìn)狀移動(dòng)、停止、曝光，進(jìn)行刻入。這種精密的技術(shù)被叫做“分步重復(fù)”，而應(yīng)用這種技術(shù)的設(shè)備被稱為“步進(jìn)機(jī)”。

當(dāng)時(shí)，威爾先生對(duì)這項(xiàng)技術(shù)沒(méi)有表現(xiàn)出太大的興趣，認(rèn)為這種對(duì)位置和精度要求嚴(yán)格的機(jī)器不適于量產(chǎn)。但是在那次見(jiàn)面的四五年后，美國(guó)率先發(fā)布了步進(jìn)機(jī)的研發(fā)成果。老實(shí)說(shuō)，當(dāng)聽(tīng)到這個(gè)消息時(shí)我非常懊惱，但是回頭再想想，美國(guó)當(dāng)時(shí)急速進(jìn)步的工業(yè)控制技術(shù)也為步進(jìn)機(jī)的問(wèn)世提供了可能。

日本光學(xué)涉足步進(jìn)機(jī)領(lǐng)域之后，GCA公司真的不再購(gòu)買(mǎi)超顯微尼克爾鏡頭了。但是在那以后很短的時(shí)間內(nèi)，我們便趕超了搶先我們一步發(fā)布步進(jìn)機(jī)研發(fā)成果的GCA公司，我們的產(chǎn)品席卷了整個(gè)世界。這都是因?yàn)楦呓庀窳ν队扮R頭、超精密高速移動(dòng)臺(tái)、光電傳感器三項(xiàng)核心技術(shù)得到了顧客的一致好評(píng)。使用高科技含量產(chǎn)品采取正面進(jìn)攻，是取得勝利的根本原因。

后來(lái)，在20世紀(jì)80年代，GCA公司的經(jīng)營(yíng)惡化，于1989年被美國(guó)電機(jī)企業(yè)通用信號(hào)（General Signal）收歸旗下，但依然未能擺脫業(yè)績(jī)低迷的狀態(tài)，到1993年實(shí)際上已經(jīng)退出了步進(jìn)機(jī)領(lǐng)域。

對(duì)“光與微米”孜孜以求的尼康技術(shù)陣營(yíng)，以自己的實(shí)力，在與業(yè)界先鋒軍美國(guó)企業(yè)的較量中大獲全勝。