1976年3月，垂井先生擔(dān)任所長的超LSI技術(shù)研究所，在通商產(chǎn)業(yè)?。ìF(xiàn)在的經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省）的主導(dǎo)下正式啟動，開始著手超LSI制造設(shè)備的開發(fā)，此時半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展被立為國策。除了曝光設(shè)備步進(jìn)機(jī)，利用電子射線直接描畫方式和X射線曝光設(shè)備的技術(shù)也發(fā)展起來。最早時，步進(jìn)機(jī)被列為“第三研究重點(diǎn)”。

當(dāng)時被稱為“新時代芯片”的64千字節(jié)（KB）動態(tài)隨機(jī)存儲器（DRAM）的電路幅是1.5~2.0微米，超LSI技術(shù)研究所的目標(biāo)則是研發(fā)出亞微米（1微米以下）的設(shè)備。

由于用于曝光的光線波長是0.4~0.5微米，所以光學(xué)步進(jìn)機(jī)將電路幅控制在1.0微米還是有可能的，但即使日本光學(xué)儀器的技術(shù)再先進(jìn)，研發(fā)出亞微米水平的鏡頭設(shè)備也任誰都沒想過，這相當(dāng)于在一根頭發(fā)的斷面上嵌入50條以上的線路。這種高精尖的加工技術(shù)，也許只能依靠電子射線或者X射線才能做得到。這是當(dāng)時看起來最合理的分析。

就在垂井先生將步進(jìn)機(jī)的開發(fā)重任點(diǎn)名交給日本光學(xué)的時候，我心里已經(jīng)有了把握。我認(rèn)為，要完成這項(xiàng)艱巨使命，核心技術(shù)在三個方面：第一，相當(dāng)于步進(jìn)機(jī)心臟的高解像力投影鏡頭；第二，裝載了基板，并可以高速高精度移動的“超精密高速移動臺”；第三，能夠支持自動控制設(shè)備的光電傳感器。這三項(xiàng)基本技術(shù)，當(dāng)時的日本光學(xué)全部具備。

高解像力投影鏡頭方面，當(dāng)時有最暢銷產(chǎn)品超顯微尼克爾鏡頭（Ultra-micro-nikkor）。這種鏡頭作為制造半導(dǎo)體主板的光掩膜板專用的鏡頭，在國內(nèi)外都是數(shù)一數(shù)二的權(quán)威產(chǎn)品。

這種鏡頭的開發(fā)者就是高我８屆的前輩脅本善司先生。他是一個執(zhí)著的技術(shù)人員。盡管他有時會跟我抱怨 “你要搞步進(jìn)機(jī)，那我的鏡頭就不好賣了啊”什么的，但一旦研究正式開始，他馬上就親自過來幫忙了。

移動臺制作的研究課題是“要求能夠筆直移動”。打個比方來說，我們要達(dá)到的精準(zhǔn)程度就是，假如從東京向富士山射出一支箭，這支箭必須命中放置在山頂?shù)囊粋€網(wǎng)球。

將這種高精度技術(shù)的開發(fā)付諸實(shí)踐的就是金子茂三郎先生。他是一個對技術(shù)孜孜以求的人，而且很有組織能力，總能把意見不一致的人聚攏在一起，將研究進(jìn)行下去。

在當(dāng)時的日本光學(xué)，像金子先生這樣具有卓越技術(shù)能力的人才非常多。以前在公司內(nèi)部，都有針對初高中畢業(yè)工作人員的技術(shù)培訓(xùn)所，也叫“專修科”。像我們這樣理科大學(xué)畢業(yè)進(jìn)入公司五六年的社員，往往作為老師對他們進(jìn)行技術(shù)輔導(dǎo)和培訓(xùn)。他們非常認(rèn)真刻苦，經(jīng)常能提出十分深刻的問題。

我在專修科當(dāng)老師的時候，給我印象最深的是一個叫大野康一的人。他初中畢業(yè)以后進(jìn)入日本光學(xué)，靠自學(xué)開始研究光學(xué)，不知不覺間已經(jīng)具備了大學(xué)畢業(yè)程度以上的專業(yè)知識。他被分配到質(zhì)檢部門，專門對新開發(fā)出的鏡頭進(jìn)行檢測，他還自己動手制作出了一套檢測儀器。在步進(jìn)機(jī)的開發(fā)過程中，我就把鏡頭的檢測工作分配給了大野先生。

“二戰(zhàn)”結(jié)束以后，很多學(xué)生雖然成績優(yōu)秀，但迫于家境無法繼續(xù)上學(xué)。而恰恰是這樣一群執(zhí)著和勇于進(jìn)取的青年，為日本光學(xué)在技術(shù)方面的發(fā)展提供了最有力的支持。