當(dāng)時的成果之一便是激光坐標(biāo)測量儀。日立制作所訂購了我們的第一臺機器。激光坐標(biāo)測量儀就是可以測量至0.1微米（1微米等于一百萬分之一米）的精密儀器。主要是半導(dǎo)體制造過程中，在將纖細的電路嵌入硅板時，用來檢測光掩膜板。

1970年前后，日本國內(nèi)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)開始發(fā)展，伴隨對主板集成度要求的提高，對精密測量儀的需求也與日俱增。日本光學(xué)界此時擁有通過刻線機（就是在玻璃表面，每1毫米刻入1 000條線來制造分光器折射光柵的設(shè)備）衍生出來的超精密技術(shù)，再安裝新近研發(fā)出來的光電顯微鏡，使專門用來測量集成電路（IC）的儀器走向了產(chǎn)業(yè)化。

當(dāng)時拿到日立公司的訂單并不順利，我記得我們的報價是

2 000萬日元，這個價格開始在日立的預(yù)算申請會議上并沒有通過。我十分感謝當(dāng)時日立方面的決策者，他并沒有輕易放棄，為了說服董事局，他讓我繪制一份產(chǎn)品的工作原理圖給他。

而且，就在董事局會議當(dāng)天的早上，為以防萬一，他還告訴我如果形勢不利，他就從會議室直接給我打電話咨詢。“對不起，吉田先生，您能否在直撥電話前等著？”他問。于是，我那天就一直忐忑不安地坐在那部電話前，不知道會面臨一個什么樣的結(jié)果。當(dāng)時的心情我至今依然清楚地記得。還好，第二次的預(yù)算申請通過了，我們順利與日立簽訂了合同。

這臺激光坐標(biāo)測量儀的反響非常好，富士通、三菱電機、東京芝浦電氣（現(xiàn)在的東芝）也相繼下了訂單。當(dāng)時的我，只有定制、單品生產(chǎn)的經(jīng)驗，因此看到一種產(chǎn)品帶來這么多訂單，自然十分高興。

這樣，一連串的訂單，從各種精密測量儀到光掩膜板的自動檢測機等相關(guān)器械的開發(fā)，成為我們深入半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的契機。

關(guān)于激光坐標(biāo)測量儀，我還有一段難忘的回憶。

在工業(yè)技術(shù)院電氣實驗所（現(xiàn)在的產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所），有一個研究室正在嘗試制造當(dāng)時最高端的半導(dǎo)體用電子射線曝光設(shè)備。因為他們的設(shè)備不能同時滿足測量位置與測量精度的要求，他們希望我們能幫忙想辦法將激光坐標(biāo)測量儀安裝到上面。當(dāng)時研究室的室長，正是垂井康夫先生。

那時的垂井康夫先生作為“新銳派研究室室長”十分出名。滴酒不沾、做事認真的他在業(yè)內(nèi)口碑極好。所以在知悉了垂井先生的要求后，我馬上趕到他的研究室進行詳細商談，并遞上了報價單。

很遺憾，報價沒能通過。于是我就拿著設(shè)計圖和零部件來到實驗所介紹的高橋精機公司。這家公司的工廠就在我老家流野川（東京都北區(qū)），我拜托那里的社長將機器先生產(chǎn)了出來，然后拿給垂井先生看，他非常高興。

作為特別定制的產(chǎn)品，這種機器得到了研究室的接受和認可?；仡^來看，當(dāng)時我的舉動為日后的發(fā)展播下了種子。垂井先生于1976年擔(dān)任超LSI（大規(guī)模集成電路）技術(shù)研究組合共同研究所的所長。隨后，超LSI技術(shù)研究所決定將國產(chǎn)第一臺半導(dǎo)體曝光設(shè)備（步進機）的開發(fā)任務(wù)交給日本光學(xué)。

集成電路技術(shù)正式登上世界舞臺是1958年。就像英特爾公司的創(chuàng)始人之一的戈登·摩爾在1965年所說的，集成電路上可容納的晶體管數(shù)，每隔2年便會增加一倍（也叫摩爾定律），集成電路的制造方法也在發(fā)生變化。

之前的主流生產(chǎn)方式是，將繪有電路圖的光罩（原板）貼在硅板（基板）上，直接嵌入。后來細節(jié)上有了改進，出現(xiàn)了“將原板上的電路圖通過鏡頭，縮小至1/10或者1/5投影在基板上”的提議。實際操作起來，就是將原板固定，步進狀前后左右移動基板以嵌入電路。這套設(shè)備名為“步進機”。