步進機的構(gòu)造，簡單說來，就是與顯微鏡正相反。顯微鏡是將細小的物質(zhì)通過鏡頭擴大的機器；步進機正相反，是將描畫在原板（光掩膜）上的電路圖通過鏡頭縮小，并復制在晶片上做成半導體芯片。以前的主流做法是將原板直接焊接到晶片上，但隨著微縮化程度的發(fā)展，半導體芯片的制作又有了新的方法。

由于使用投影鏡頭一次可曝光的面積有限，因此是讓載有晶片的平臺以縱橫方向按照步進方式移動、停止，復寫曝光位置的信息。這樣制作一張晶體芯片需要上百次來回地移動復寫。這種復寫技術(shù)被稱為“步進與重復”，后來衍生出“步進機”這個名詞。

復寫作業(yè)的速度特別快，比眨下眼還快。特別是最近的步進機有“掃描機”之稱，光掩膜與晶片逆向行進，同時借由狹縫狀的照明進行掃描曝光。