晶體硅太陽電池生產(chǎn)工藝

模塊1晶體硅太陽電池工藝基礎(chǔ)1
1.1晶體硅太陽電池技術(shù)現(xiàn)狀1
1.1.1光伏產(chǎn)業(yè)鏈1
1.1.2晶體硅太陽電池產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀5
1.2晶體硅太陽電池原理與性能5
1.2.1太陽電池的發(fā)電原理5
1.2.2太陽電池的種類與結(jié)構(gòu)7
1.2.3太陽電池的性能與檢測項目9
1.3晶體硅太陽電池生產(chǎn)工藝流程12
1.3.1常規(guī)晶體硅太陽電池生產(chǎn)工藝12
1.3.2硅材料的生產(chǎn)工藝14
1.3.3硅片的生產(chǎn)工藝17
思考題25
模塊2硅片清洗制絨26
2.1硅片清洗原理與技術(shù)26
2.1.1硅片表面清洗原理26
2.1.2RCA清洗技術(shù)29
2.1.3硅片清洗新技術(shù)31
2.2表面陷光原理與硅片制絨31
2.2.1表面陷光原理31
2.2.2制絨原理32
2.3清洗制絨工藝流程34
2.3.1清洗制絨工藝的作用34
2.3.2單晶硅清洗制絨工藝34
2.3.3多晶硅清洗制絨工藝40
2.4企業(yè)清洗制絨操作與監(jiān)控44
2.4.1企業(yè)清洗制絨操作規(guī)范44
2.4.2清洗制絨生產(chǎn)過程監(jiān)控49
2.5企業(yè)清洗制絨常見異常與返工作業(yè)50
2.5.1企業(yè)清洗制絨常見異常50
2.5.2企業(yè)清洗制絨返工作業(yè)53
思考題54
模塊3擴散制結(jié)55
3.1擴散制結(jié)原理55
3.1.1摻雜與p-n結(jié)的形成55
3.1.2擴散的基本原理56
3.1.3擴散的方式57
3.2擴散制結(jié)工藝流程59
3.2.1企業(yè)擴散制結(jié)工藝流程59
3.2.2擴散制結(jié)影響因素分析61
3.2.3擴散后檢測62
3.3擴散制結(jié)操作與監(jiān)控63
3.3.1擴散制結(jié)工藝步驟63
3.3.2擴散設(shè)備63
3.3.3擴散車間生產(chǎn)作業(yè)規(guī)范66
3.3.4不良片與返工作業(yè)68
思考題68
模塊4硅片后清洗刻蝕生產(chǎn)69
4.1刻蝕生產(chǎn)工藝流程69
4.1.1硅片刻蝕生產(chǎn)的目的69
4.1.2濕法刻蝕生產(chǎn)和去除PSG的原理70
4.1.3刻蝕生產(chǎn)工藝技術(shù)71
4.2刻蝕生產(chǎn)作業(yè)規(guī)范72
4.2.1生產(chǎn)作業(yè)規(guī)范72
4.2.2生產(chǎn)作業(yè)常見問題75
4.3刻蝕生產(chǎn)質(zhì)量監(jiān)控77
4.3.1刻蝕工藝質(zhì)量的檢測77
4.3.2后清洗刻蝕生產(chǎn)常見異常情況處理79
4.4刻蝕生產(chǎn)返工作業(yè)83
4.4.1刻蝕生產(chǎn)返工作業(yè)操作流程83
4.4.2RENA刻蝕設(shè)備的基本維護84
思考題90
模塊5硅片減反射膜的制備91
5.1減反射膜的制備工藝流程91
5.1.1減反射膜概念91
5.1.2薄膜生長的步驟92
5.1.3減反射膜的作用92
5.1.4基本的化學(xué)氣相沉積反應(yīng)的主要步驟93
5.1.5等離子增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）反應(yīng)和工藝流程94
5.2PECVD生產(chǎn)設(shè)備及操作96
5.2.1PECVD沉積方法96
5.2.2Centrotherm公司批處理式PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu)96
5.3減反射膜制備生產(chǎn)作業(yè)104
5.3.1準(zhǔn)備作業(yè)104
5.3.2作業(yè)流程105
5.3.3石墨舟清洗和預(yù)處理110
5.3.4崗位操作注意事項113
5.4PECVD補鍍與返工生產(chǎn)作業(yè)113
5.4.1返工作業(yè)114
5.4.2PECVD補鍍作業(yè)114
思考題116
模塊6絲網(wǎng)印刷電極制備117
6.1電極制備工藝流程117
6.1.1晶體硅太陽電池電極概述117
6.1.2電極制備方法118
6.2絲網(wǎng)印刷工藝流程119
6.2.1絲網(wǎng)印刷工藝流程（圖6-4）119
6.2.2典型絲網(wǎng)印刷設(shè)備121
6.2.3絲網(wǎng)印刷設(shè)備維護130
6.2.4網(wǎng)版及刮刀131
6.3企業(yè)絲網(wǎng)印刷生產(chǎn)作業(yè)與監(jiān)控133
6.3.1絲網(wǎng)印刷生產(chǎn)作業(yè)133
6.3.2絲網(wǎng)印刷生產(chǎn)監(jiān)控139
6.4絲網(wǎng)印刷返工生產(chǎn)145
思考題149
模塊7燒結(jié)工藝150
7.1燒結(jié)定義及目的150
7.1.1燒結(jié)的定義150
7.1.2燒結(jié)工藝的目的150
7.2燒結(jié)工藝流程151
7.2.1典型燒結(jié)設(shè)備151
7.2.2燒結(jié)工藝流程155
7.3燒結(jié)溫度曲線測試159
7.3.1燒結(jié)溫度曲線159
7.3.2燒結(jié)溫度曲線的測試161
思考題165
模塊8晶硅太陽電池檢測與包裝166
8.1晶硅太陽電池檢測166
8.1.1晶硅太陽電池外觀檢測166
8.1.2晶硅太陽電池電學(xué)性能的測試169
8.1.3156多晶硅電池片產(chǎn)品規(guī)范170
8.2晶硅太陽電池測試分選173
8.3晶硅太陽電池包裝入庫186
8.3.1包裝入庫流程186
8.3.2返工作業(yè)流程189
思考題190
模塊9高效晶硅太陽電池191
9.1晶硅太陽電池轉(zhuǎn)換效率的發(fā)展191
9.2PERC高效晶硅太陽電池技術(shù)195
思考題197
參考文獻198