MEMS慣性傳感器技術（精）

定　價：￥80.00

作　者：	張志英
出版社：	西安交通大學出版社
叢編項：
標　簽：	暫缺

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ISBN：	9787560572659	出版時間：	2016-12-01	包裝：
開本：	16開	頁數：	263	字數：

內容簡介

　　《MEMS慣性傳感器技術》從MEMS慣性傳感器的基本概念出發(fā)，簡單介紹了MEMS慣性傳感器的術語、分類、功能及作用原理；從研發(fā)和技術服務的角度簡述了MEMS慣性傳感器的敏感性和參數計算及其調整；給出了企業(yè)制造MEMS角速率陀螺的兩個企業(yè)標準；詳細介紹了一單軸較大量程MEMS硅角速率陀螺的制造工藝；介紹了MEMS慣性傳感器的測試項目、測試方法及環(huán)境試驗；也從性能參數出發(fā)闡述了MEMS慣性傳感器的選擇原則，并介紹了國內外可供選擇的MEMS慣性傳感器產品及其他像光纖陀螺、激光陀螺、垂直陀螺等慣性傳感器產品；特列了33個作者牽頭自行研制的不同量程型號的MEMS硅角速率陀螺使用說明書及其注釋和國內外22個MEMS石英角速率陀螺技術條件及其注釋；又從MEMS慣性傳感器的應用角度講述了MEMS慣性傳感器應用的技術領域、MEMS角速率陀螺的應用特點和MEMS慣性傳感器的安裝要求；還對十余年來MEMS慣性傳感器在各技術領域中典型的應用實例進行了一些粗淺的解析；最后，簡單地介紹了MEMS慣性傳感器的測試儀器和設備。

作者簡介

　　張志英，男，1942年出生于陜西省西安市周至縣。工程師。1962年考入西安交通大學，就讀于電機工程系工業(yè)企業(yè)電氣化與自動化專業(yè)。畢業(yè)后分配到國防科委第六研究院第六一八研究所工作，從事飛機自動飛行控制系統(tǒng)總體的研究。著重于自動飛行控制系統(tǒng)總體電路和機內自檢測（BIT）及傳感器分系統(tǒng)的研究。在研究所工作的三十五年中，參加了五個大課題的研究工作。曾在國家第七個五年計劃（七五）和第八個五年計劃（八五）的航空重大科研項目中榮立二、三等功，并榮獲科學技術成果獎和科學技術進步獎一、二、三等獎等，發(fā)表論文十數篇。曾任中國航空工業(yè)第六一八研究所飛機自動飛行控制系統(tǒng)總體專業(yè)組副組長，中國航空工業(yè)部ACT項目ICD工作組組長等職。1987年，受中國航空工業(yè)部派遣，作為ACT專家代表團成員，出訪德意志聯(lián)邦共和國。還應邀參加《電氣工程師手冊》（第二版，2000年6月，機械工業(yè)出版社出版）和《自動飛行控制系統(tǒng)》（2003年1月，國防工業(yè)出版社出版）兩書的編寫。退休后，受聘于西安高新技術開發(fā)區(qū)和北京中關村高新技術企業(yè)，從事MEMS慣性傳感器的研發(fā)和自動測量及自動控制系統(tǒng)的集成。曾任公司研發(fā)部部長、副總經理、總工程師、技術專家等職。

圖書目錄

第1章 MEMS慣性傳感器術語
1．1 綜合術語
1．2 MEMS角速率陀螺術語
1．3 MEMS線加速度計術語
第2章 MEMS慣性傳感器分類
2．1 MlEMS角速率陀螺分類
2．2 MEMS線加速度計分類
第3章 MEMS慣性傳感器的功能
3．1 MEMS角速率陀螺的功能
3．2 MEMS線加速度計的功能
第4章 MEMS慣性傳感器作用原理
4．1．MEMS角速率陀螺作用原理
4．1．1 MEMS硅角速率陀螺的科里奧利作用原理
4．1．2 MEMS石英角速率陀螺的科里奧利作用原理
4．2 MEMS線加速度計作用原理
4．2．1 MEMS硅線加速度計的牛頓第二定律作用原理
4．2．2 MEMS石英線加速度計的牛頓第二定律作用原理
第5章 MEMS慣性傳感器的敏感極性
5．1 MEMS角速率陀螺的敏感極性
5．2 MEMS線加速度計的敏感極性
5．3 MEMS慣性測量單元IMU的敏感極性
第6章 MEMS慣性傳感器的調整
6．1 MEMS硅角速率陀螺的調整
6．1．1 敏感極性的確定
6．1．2 測量范圍的擴展
6．1．2．1 外接運算放大器縮小測量范圍的MEMS硅角速率陀螺的調整方法
6．1．2．2 外接電阻擴大較大測量范圍的MEMS硅角速率陀螺的調整方法
6．1．2．3 外接附加供電擴大更大測量范圍的MEMS硅角速率陀螺的調整方法
6．1．3 零偏的調整
6．1．3．1 零偏調整的計算方法
6．1．3．2 零偏調整的操作工藝
6．1．4 帶寬的調整
6．1．4．1 一般MEMS硅角速率陀螺帶寬的調整
6．1．4．2 有外接電阻擴大較大測量范圍的MEMS硅角速率陀螺帶寬的調整
6．1．4．3 有外接附加供電擴大更大測量范圍的MEMS硅角速率陀螺帶寬的調整
6．1．5 自檢測（ST）響應值的計算方法
6．1．5．1 一般MEMS硅角速率陀螺自檢測（ST）響應值的計算方法
6．1．5．2 有外接電阻和附加供電的MEMS硅角速率陀螺自檢測（ST）響應值的計算方法
6．1．6 輸出濾波器參數的選擇
6．2 MEMS硅線加速度計的調整
6．2．1 敏感極性的確定
6．2．2 零偏的調整
6．2．3 帶寬的調整
6．2．4 輸出噪聲的計算
6．2．5 地球重力加速度1g的處理
……
第7章制造MEMS硅角速率陀螺的企業(yè)標準
第8章單軸MEMS硅角速率陀螺制造工藝
第9章 MEMS慣性傳感器的測試
第10章 MEMS慣性傳感器產品的環(huán)境試驗
第11章 MEMS慣性傳感器產品的選擇
第12章 MEMS硅角速率陀螺使用說明書及其注釋
第13章 MEMS石英角速率陀螺技術條件及其注釋
第14章 MEMS慣性傳感器的應用及安裝要求
第15章 MEMS慣性傳感器產品應用實例
第16章 MEMS慣性傳感器測試儀器及設備