注冊 | 登錄讀書好,好讀書,讀好書!
讀書網(wǎng)-DuShu.com
當(dāng)前位置: 首頁出版圖書科學(xué)技術(shù)自然科學(xué)物理學(xué)金屬有機物氣相外延 理論與實踐(第2版)

金屬有機物氣相外延 理論與實踐(第2版)

金屬有機物氣相外延 理論與實踐(第2版)

定 價:¥91.00

作 者: [美] 斯特林費洛(Gerald,B.,Stringfellow) 著
出版社: 北京大學(xué)出版社
叢編項: 中外物理學(xué)精品書系
標(biāo) 簽: 化學(xué) 有機化學(xué) 自然科學(xué)

ISBN: 9787301275177 出版時間: 2016-11-01 包裝: 平裝
開本: 16開 頁數(shù): 1072 字?jǐn)?shù):  

內(nèi)容簡介

  《金屬有機物氣相外延——理論與實踐 (第二版)》作為金屬有機物氣相外延(OMVPE或MOCVD)基礎(chǔ)理論和應(yīng)用實踐方面的教學(xué)參考書,適用于材料物理,材料化學(xué)和電子專業(yè)的本科生和研究生。同時也適合作為OMVPE生產(chǎn)和研發(fā)人員的工具書。本書第一章首先總攬了OMVPE的生長過程,并和其他的外延工藝做細(xì)致的比較。第二到第六章則分別論述了OMVPE生長的各個方面:熱力學(xué)(第二章),表面物理過程(第三章),反應(yīng)源(第四章),動力學(xué)(第五章)以及流體力學(xué)和質(zhì)量輸運(第六章)。這些論述不但包括基本的模型論述,還包括主要研究進(jìn)展以及發(fā)展的趨勢,內(nèi)容豐富。第七章討論了OMVPE生長過程的設(shè)計,包括動力學(xué)限制及高溫區(qū)的生長,同時也對整體的OMVPE過程進(jìn)行設(shè)計。第八章則介紹了諸如GaAs,InP,GaN等特定的材料。第九章介紹了超晶格結(jié)構(gòu),第十章則對OMVPE生長的器件進(jìn)行了論述。

作者簡介

暫缺《金屬有機物氣相外延 理論與實踐(第2版)》作者簡介

圖書目錄

第一章 OMVPE方法概述…………………………………………………… 1
 1.1 引言………………………………………………………………………… 1
?。保病⊥庋蛹夹g(shù)的比較…………………………………………………………… 2
?。保场MVPE生長過程概述…………………………………………………… 7
 參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… 14
第二章 熱力學(xué)………………………………………………………………… 16
 2.1 相平衡的熱力學(xué)基礎(chǔ)……………………………………………………… 17
?。玻病∠鄨D………………………………………………………………………… 34
?。玻场⊥庋由L的熱力學(xué)驅(qū)動力………………………………………………… 60
 2.4 固態(tài)組分………………………………………………………………… 65
?。玻怠∷脑怠?81
?。玻丁”砻鏌崃W(xué)……………………………………………………………… 82
 參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… 89
第三章 表面物理過程………………………………………………………… 99
 3.1 引言………………………………………………………………………… 99
?。常病”砻鏈y量技術(shù)…………………………………………………………… 100
 3.3 表面特性的直接觀測…………………………………………………… 105
?。常础≡蛹壣L過程………………………………………………………… 108
 3.5 表面過程對OMVPE生長的影響……………………………………… 122
 參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… 126
第四章 源物質(zhì)………………………………………………………………… 131
?。矗薄∫浴?131
?。矗病I族源…………………………………………………………………… 140
?。矗场II族有機源…………………………………………………………… 141
?。矗础 族有機源……………………………………………………………… 147
?。矗怠I族源…………………………………………………………………… 168
?。矗丁〗饘儆袡C摻雜源………………………………………………………… 173
 參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… 175
第五章 動力學(xué)………………………………………………………………… 186
?。担薄”尘啊?186
 5.2 OMVPE生長過程……………………………………………………… 194
?。担场蜗酂峤夥磻?yīng)…………………………………………………………… 197
 5.4 多相熱解反應(yīng)…………………………………………………………… 240
?。担怠∮行颉?246
 參考文獻(xiàn)……………………………………………………………………… 252
第六章 流體力學(xué)與質(zhì)量輸運……………………………………………… 262
 6.1 引言……………………………………………………………………… 262
?。叮病MVPE的完全流體力學(xué)處理………………………………………… 263
 6.3 邊界層模型……………………………………………………………… 271
?。叮础∨P式OMVPE反應(yīng)室近似分析方法…………………………………… 272
 6.5 反應(yīng)室設(shè)計應(yīng)用………………………………………………………… 276
 參考文獻(xiàn)……………………………………………………………………… 277
第七章 OMVPE生長過程設(shè)計…………………………………………… 279
?。罚薄MVPE生長的綜合模型……………………………………………… 279
?。罚病恿W(xué)限制的生長……………………………………………………… 282
?。罚场≈械葴囟认滤袣鈮悍秶鷥?nèi)的生長過程……………………………… 301
 7.4 高溫區(qū)…………………………………………………………………… 306
?。罚怠I/VI族化合物的OMVPE生長……………………………………… 307
?。罚丁】傮w工藝過程設(shè)計……………………………………………………… 315
 參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… 331
第八章 OMVPE生長的材料……………………………………………… 340
?。福薄aAs……………………………………………………………………… 340
 8.2 AlGaAs ………………………………………………………………… 352
?。福场aInAs,AlInAs和AlGaInAs ………………………………………… 360
 8.4 InP ……………………………………………………………………… 364
?。福怠aP,GaInP,AlGaInP …………………………………………………… 370
?。福丁s/P合金………………………………………………………………… 375
 8.7 銻化物及其合金………………………………………………………… 380
?。福浮II/V 族氮化物,AlGaInN ……………………………………………… 391
?。福埂II/V 族半導(dǎo)體的選區(qū)生長……………………………………………… 398
 8.10 II/VI族半導(dǎo)體………………………………………………………… 399
?。福保薄V 族半導(dǎo)體…………………………………………………………… 404
2 金屬有機物氣相外延(第二版)
?。福保病》前雽?dǎo)體材料…………………………………………………………… 405
 參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… 408
第九章 超晶格………………………………………………………………… 426
?。梗薄lGaAs/GaAs…………………………………………………………… 429
?。梗病aInAs/InP ……………………………………………………………… 434
 9.3 AlGaInP/GaInP ………………………………………………………… 438
?。梗础aInAs/GaAs …………………………………………………………… 440
?。梗怠lGaInN ………………………………………………………………… 443
?。梗丁?yīng)變層超晶格…………………………………………………………… 444
?。梗贰i襯底上的GaAs ……………………………………………………… 445
?。梗浮iGe合金………………………………………………………………… 446
 9.9 II/VI化合物……………………………………………………………… 447
?。梗保啊诫s超晶格……………………………………………………………… 449
 9.11 原子層外延(ALE)……………………………………………………… 450
 參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… 454
第十章 器件…………………………………………………………………… 462
?。保埃薄∽⑷胧郊す馄骱蚅ED ………………………………………………… 463
?。保埃病」怆姸O管……………………………………………………………… 479
?。保埃场‰娮娱_關(guān)器件…………………………………………………………… 481
?。保埃础√柲茈姵亍?486
 10.5 總結(jié)……………………………………………………………………… 488
 參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… 488
文中縮略語……………………………………………………………………… 497
金屬有機源分子符號………………………………………………………… 500
索引……………………………………………………………………………… 502

本目錄推薦

掃描二維碼
Copyright ? 讀書網(wǎng) m.ranfinancial.com 2005-2020, All Rights Reserved.
鄂ICP備15019699號 鄂公網(wǎng)安備 42010302001612號