本書的主要內容包括電子顯微學和電子束微分析、掃描探針顯微術,以及和電子束微分析關聯(lián)較多的表面分析、離子束微分析和X射線束微分析。在電子束微分析中,介紹了固體中入射電子的散射、掃描電子顯微鏡(SEM)和透射電子顯微鏡(TEM)中的微分析、固體中電子散射的蒙特卡羅模擬、TEM的像差和分辨率、電子顯微像的各種襯度機制、高分辨透射電子顯微像的相位襯度傳遞函數(shù)理論和原子級(亞埃級)分辨率球差校正TEM的進展。掃描探針顯微術(包括掃描隧道電子顯微術和多種原子力顯微術)異軍突起,分辨率在20世紀80年代前就達到了原子級。分析表面的電子顯微術包括低能電子顯微術、光電子(發(fā)射)顯微術、反射電子顯微術和俄歇電子顯微術。離子束微分析中,介紹了入射離子束在固體中的散射、盧瑟福背散射譜、聚焦離子束儀和二次離子質譜。X射線束微分析中,介紹了同體對X射線的吸收、由此而來的光電子能譜、隨后的弛豫過程引起的俄歇電子能譜和X射線熒光譜。