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硅鍺的性質(zhì)

硅鍺的性質(zhì)

定 價:¥24.00

作 者: 暫缺
出版社: 國防工業(yè)出版社
叢編項(xiàng):
標(biāo) 簽: 半導(dǎo)體技術(shù) 電子與通信

ISBN: 9787118028836 出版時間: 2002-09-01 包裝: 精裝
開本: 32開 頁數(shù): 251 字?jǐn)?shù):  

內(nèi)容簡介

  繼Si之后,SiGe/Si是研究得最多、最深入的一類Si基異質(zhì)材料。應(yīng)變的和弛豫的SiGe已經(jīng)成為電子集成電路和光電子集成電路的非常重要的材料?!豆桄N的性質(zhì)》由31位來自德國、美國、加拿大、英國、日本等國Si基異質(zhì)結(jié)構(gòu)和應(yīng)用領(lǐng)域的教授們撰稿,是一本論述SiGe/Si知識的權(quán)威性專著。《硅鍺的性質(zhì)》共七章,第一章綜述了SiGe應(yīng)變層系統(tǒng)的一些總體性質(zhì);第二章至第六章給出了應(yīng)變的和弛豫的SiGe合金的具體材料性質(zhì),論述了SiGe材料的結(jié)晶學(xué)、異質(zhì)結(jié)構(gòu)、熱學(xué)性質(zhì)、力學(xué)和晶格振動、能帶結(jié)構(gòu)、輸運(yùn)特性、磁學(xué)特性、表面性質(zhì)、光吸收和光譜等方面的內(nèi)容;第七章介紹了一些代表性的SiGe/Si器件的結(jié)構(gòu)和特性。《硅鍺的性質(zhì)》是半導(dǎo)體領(lǐng)域的學(xué)者和工程技術(shù)人員的必讀書,適于材料專業(yè)和半導(dǎo)體專業(yè)的科技人員、研究生、博士生閱讀,還可供物理領(lǐng)域中的廣大科技人員作為手冊進(jìn)行查閱。

作者簡介

  Erich Kasper(卡斯珀),自1994年以來一直擔(dān)任德國斯圖加特大學(xué)半導(dǎo)體研究所所長,長期從事量子電子器件的理論和納米結(jié)構(gòu)自組織的器件結(jié)構(gòu)MBE研究工作,在SiGe的研究領(lǐng)域具有很高的國際聲望,并有兩本專著和近百篇論文發(fā)表。

圖書目錄

第一章 引言
 1.1 應(yīng)力引起的外延薄膜的形貌不穩(wěn)定性和成島
 1.2 SiGe/Si系統(tǒng)中失配位錯網(wǎng)絡(luò)的平衡理論
 1.3 SiGe/Si系統(tǒng)中亞穩(wěn)應(yīng)變層的結(jié)構(gòu)
第二章 結(jié)構(gòu)特性
 2.1 SiGe合金系的晶體結(jié)構(gòu)、晶格常數(shù)和固一液相圖
 2.2 SiGe合金的有序性
 2.3 Si/Ge界面:結(jié)構(gòu)、能量和互擴(kuò)散
第三章 熱學(xué)、力學(xué)和晶格振動學(xué)性質(zhì)
 3.1 SiGe的彈性常數(shù)
 3.2 SiGe的熱力學(xué)性質(zhì)
 3.3 SiGe中的光學(xué)聲子、聲學(xué)聲子和Raman光譜
第四章 能帶結(jié)構(gòu)
 4.1 SiGe的能隙和能帶結(jié)構(gòu)及它們同溫度的依賴關(guān)系
 4.2 應(yīng)變對SiGe價帶結(jié)構(gòu)的影響
 4.3 應(yīng)變對SiGe導(dǎo)帶結(jié)構(gòu)的影響
 4.4 SiGe中的有效質(zhì)量
 4.5 SiGe異質(zhì)結(jié)和帶偏移
 4.6 SiGe的光譜
 4.7 弛豫的SiGe合金的光學(xué)函數(shù)及應(yīng)變對光學(xué)函數(shù)的影響
第五章 運(yùn)輸特性
 5.1 SiGe/Si 系中的電子和空穴的遷移率
 5.2 Si/SiGe 異質(zhì)結(jié)的注入
 5.3 SiGe/Si 結(jié)構(gòu)中的磁運(yùn)輸特性
第六章 表面性質(zhì)
第七章 Si 基器件的結(jié)構(gòu)和重要數(shù)據(jù)集錦

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