MEMS設計模擬與仿真系統(tǒng)應用：Coventor Ware

第1章 概述
1．1 新版本內(nèi)容說明
1．2 文件協(xié)議
1．3 在操作系統(tǒng)下的安裝說明
第2章 Coventor Ware系統(tǒng)的應用
2．1 概述
2．1．1 主要模塊
2．1．2 系統(tǒng)中的循環(huán)問題
2．2 設計方面所要考慮的問題
2．3 提高工作效率(Enhancing Productivil：y)
2．3．1 對執(zhí)行的監(jiān)控與管理
2．3．2 處理中應當注意的問題
2．4 系統(tǒng)設計協(xié)議
2．5功能管理器
2．5．1 材料
2．5．2 加工工藝
2．5．3 Architect
2．5．4 設計器(Designer)
2．5．5 分析器(Analyzer)
2．5．6 菜單的各項功能
2．6 窗口瀏覽
2．6．1 工程瀏覽器
2．6．2 模型／網(wǎng)格瀏覽器
2．6．3 存儲求解結果
2．6．4 輸出結果
2．6．5 消除記錄目錄
2．7 網(wǎng)格轉(zhuǎn)換
2．7．1 網(wǎng)格轉(zhuǎn)換文件說明窗口
2．7．2 網(wǎng)格轉(zhuǎn)換邊界條件設置窗口
2．8 MBIFs文件的合成
2．9 輸出網(wǎng)格轉(zhuǎn)換后的模型
2．10 通用的按鈕功能
2．11 文件和數(shù)據(jù)庫的轉(zhuǎn)換
2．12 文件的組織
2．12．1 系統(tǒng)資源文件
2．12．2 輸入文件
2．12．3 輸出文件
2．12．4 執(zhí)行文件
2．12．5 學習文件
2．12．6 十文件命名的限制
2．12．7 目錄結構
2．12．8 建立一個典型工程
第3章 Architect介紹
3．1 Architect綜述
3．2 MEMS仿真的系統(tǒng)級設計
3．2．1 系統(tǒng)級仿真的工具
3．2．2 系統(tǒng)級庫
3．3 使用Saber
3．3．1 Saber簡介
3．3．2 使用Saber
3．3．3 仿真
3．3．4 Saber參考
第4章 分析預處理
4．1 概述
4．1．1 功能
4．1．2 窗口描述
4．1．3 預處理術語
4．1．4 預處理流程
4．2 實體建模
4．3 實體命名
4．4 網(wǎng)格建立
4．5 網(wǎng)格設置
4．5．1 一般網(wǎng)格的介紹
4．5．2 Extruded Rrirks
4．5．3 Manhattan網(wǎng)格劃分
4．5．4 TetrahedrOll網(wǎng)格劃分
4．5．5 網(wǎng)格優(yōu)化
4．5．6 曲率離散化誤差
4．5．7 網(wǎng)格的刪除或停止
4．5．8 面向分析的網(wǎng)格劃分
4．6 模型導人導出
4．7 圖標
4．8 菜單選項
4．8．1 文件(File)
4．8．2 編輯(Edit)
4．8．3 視圖(View)
4．8．4 實體模型(Solid Model)
4．8．5 網(wǎng)格(Mesh)
4．8．6 工具(Tools)
4．8．7 幫助(Help)
第5章 微機電設計
5．1 分析窗口的使用
5．2 MemElectro電容矩陣
5．3 準靜電分析功能
5．3．1 準靜電和靜電
5．3．2 準靜電的原理和證明
5．3．3 平行板示例
5．3．4 準靜電結果
5．4 靜電分析的參考內(nèi)容
5．4．1 功能
5．4．2 分析的設置窗口
5．4．3 分析的邊界設置窗口
5．4．4 MemEleetro的參數(shù)研究
5．4．5 分析的結果窗口
第6章 微結構分析
6．1 MemMectl的使用
6．2 MemMectl和有限元法
6．3 網(wǎng)格單元的選擇
6．4 動力學
6．4．1 固有頻率和模態(tài)形式
6．4．2 阻尼
6．4．3 單元選擇
6．4．4 動力學的網(wǎng)格設計
6．5 力學機械分析參考
6．5．1 功能
6．5．2 力學機械分析設置窗口
6．5．3 分析邊界條件窗口
6．5．4 MemMech參數(shù)化研究
6．5．5 微結構分析結果窗口
第7章 CoSolveEM——機電耦合求解器
7．1 CoSolve的使用
7．2 CoSolve迭代求解
7．3 在CoSolve中設定軌跡
7．3．1 CoSolve的臨界分析指示器
7．3．2 不穩(wěn)定的CoSolve結果
7．4 CoSolve參考
7．4．1 CoSolve功能介紹
7．4．2 CoSolve設置窗口
7．4．3 CoSolve邊界條件窗口
7．4．4 狀況監(jiān)控器
7．4．5 CoSolve分析結果窗口
附錄 陀螺儀的設計與仿真示例
1．Ovetview
2．Data Required for this Tutorial
3．Tutorial Obiectiyes and Layout
4．Gvroscope Operation
5．Gyroscope Design Parameters
6．Designing the Gyroscope-Schematic Creation
6．1 Schematic Creation GLlidelines
6．2 Initialization
6．3 Place and Coniaect Parametric Component Symbols
6．4 Assign Properties to Placed Symbols
6．5 Add Additional Components
6．6 Set Design Variables
6．7 Final Schematic
7．Layout Verification
8．Architect Gyroscope Performance Analysis
8．1 DC Operating Point Analysis
8．2 DC Transfer(Sweep)Analysis
8．3 Small Signal AC Analysis
8．4 Sensitivity and Monte Carlo Analysis
8．5 Transient Analysis
8．6 AC Analysis：Determining the Detection Amplitude
8．7 Impact of Plate Curvature
9．FEM Comparison
9．1 Naming of Faces．Conductors and Parts
9．2 Meshing
9．3 Modal Analysis
9．4 Pull—in Analysis