等離子體診斷（第一卷放電參量和化學）

定　價：￥25.00

作　者：	（美）奧切洛（Auciello，Orlando），（美）弗拉姆（Flamm，Daniel L.）編著；鄭少白等譯
出版社：	電子工業(yè)出版社
叢編項：	等離子體-材料相互作用系列叢書
標　簽：	等離子體診斷

ISBN：	9787505321748	出版時間：	1994-03-01	包裝：
開本：	21cm	頁數(shù)：	468頁	字數(shù)：

　　本卷著重于等離子體工藝中的各種診斷技術介紹，包括：放電光源中的等離子診斷、等離子體質譜學、微波診斷等7章。

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等離子體診斷（第一卷 放電參量和化學）