電子槍與離子束技術

定　價：￥29.00

作　者：	張以忱編著
出版社：	冶金工業(yè)出版社
叢編項：
標　簽：	電子其他

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ISBN：	9787502433895	出版時間：	2004-01-01	包裝：	簡裝本
開本：	20cm	頁數(shù)：	284	字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　內(nèi)容簡介電子槍與離子束技術近年來在科學研究和工業(yè)生產(chǎn)中得到了廣泛的應用，尤其在冶金、宇航、電子工業(yè)中材料表面改性等領域的新工藝中更為多見。本書介紹了電子槍與離子束的理論基礎，電子與等離子產(chǎn)生的機理，通過電場、磁場或復合場把產(chǎn)生的荷電粒子束進行聚焦、偏轉(zhuǎn)、掃描等控制其運動規(guī)律的各種裝置及其設計計算。內(nèi)容分8章：電子束光學，電子束技術基礎，離子束物理基礎，強流軸向電子槍，偏轉(zhuǎn)電子槍設計原理，空心陰極（HCD）電子槍，離子束應用技術，S槍離子濺射源的設計。作者基于多年的教學和科研實踐，對內(nèi)容進行了仔細的選取，力求理論與實際應用相結(jié)合，將與電子槍和離子束技術有關的基礎理論與設計方法有機地結(jié)合在一起，較詳細地論述了各種電子槍和離子槍的設計原理、設計計算方法及其應用；在內(nèi)容上做到既具有一定的理論深度和系統(tǒng)性，又對相關設備的設計應用具有實踐上的指導作用，為讀者提供一個精練清晰、系統(tǒng)實用的內(nèi)容體系。本書適合于真空技術、真空冶金、材料工程、熱處理、焊接等部門從事設計、生產(chǎn)、研究和設備應用與維護的技術人員參考使用，也可供高等學校相關專業(yè)用做教材。

作者簡介

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圖書目錄

1 電子光學
1.1 電子光學特征
1.2 軸對稱電場中的電子運動
1.3 電透鏡
1.4 磁透鏡
1.5 實用磁透鏡
1.6 靜電透鏡與磁透鏡的比較
2 電子束技術基礎
2.1 電子束的產(chǎn)生及性質(zhì)
2.2 電子槍概述
2.3 強流電子槍設計基礎
2.4 電子束蒸發(fā)沉積
3 離子束物理基礎
3.1 等離子體基本性質(zhì)
3.2 等離子體的分類
3.3 等離子體的獲得
3.4 低溫等離子體中粒子運動和效電基本過程
3.5 離子束與材料表面的相互作用
4 強流軸向電子槍
4.1 概述
4.2 軸向電子槍基本結(jié)構和工作原理
4.3 軸向電子束發(fā)生系統(tǒng)設計計算
4.4 電子光路系統(tǒng)設計計算
4.5 槍室真空系統(tǒng)設計
4.6 電子槍的調(diào)試
4.7 強流軸向槍電源設計
4.8 電子槍x射線的形成與屏蔽防護
5 偏轉(zhuǎn)電子槍
5.1 電子束流磁偏轉(zhuǎn)理論基礎
5.2 偏轉(zhuǎn)電子槍工作原理與結(jié)構
5.3 偏轉(zhuǎn)槍（e型槍）參數(shù)設計
5.4 偏轉(zhuǎn)電子槍束流設計計算
5.5 壓差孔的設計
5.6 電子槍頭的安裝與調(diào)試
5.7 偏轉(zhuǎn)電子槍電源
6 空心陰極放電（hcd）電子槍
6.1 空心陰極放電效應
6.2 空心陰極電子槍工作原理
6.3 空心陰極電子槍設計參數(shù)
6.4 hcd槍中等離子體的離化率與電流形成
6.5 偏轉(zhuǎn)電磁場的設計計算
6.6 空心陰極與輔助陽極的設計
6.7 離子鍍中等離子源的束流偏轉(zhuǎn)
7 離子束技術
7.1 離子源
7.2 離子注入技術
7.3 離子束沉積技術
8 s槍離子濺射源的設計基礎
8.1 s槍的基本原理與結(jié)構
8.2 s槍濺射源結(jié)構設計
8.3 s槍磁控濺射的工作特性
8.4 基本參數(shù)的設計計算
參考文獻