微機電系統(tǒng)

第1章 緒論
11.1 微機電系統(tǒng)起源
11.2 微機電系統(tǒng)的特點與定義
41.3 國外發(fā)展現(xiàn)狀
61.4 國內(nèi)發(fā)展現(xiàn)狀
91.5 MEMS市場前景
12第2章 微機械加工工藝
142.1 引言
142.2 硅體微加工
142.2.1 各向異性腐蝕
142.2.2 電化學(xué)腐蝕
182.2.3 高溫硅直接鍵合工藝
212.2.4 靜電鍵合工藝
232.3 表面微加工
262.3.1 非晶薄膜的腐蝕
262.3.2 MCNC工藝流程
302.4 LIGA工藝
312.4.1 XˉLIGA工藝
312.4.2 UVˉLIGA工藝
322.5 其他微加工工藝
342.5.1 電火花加工工藝
342.5.2 超精密加工
342.5.3 激光精細(xì)加工
36第3章 MEMS力學(xué)問題
373.1 引言
373.2 硅的力學(xué)特性
373.2.1 硅的基本力學(xué)參數(shù)
373.2.2 硅結(jié)構(gòu)設(shè)計原則
393.3 薄膜材料的力學(xué)特性
393.3.1 常用薄膜材料的力學(xué)參數(shù)
393.3.2 MEMS力學(xué)量測量
413.4 微執(zhí)行器的尺度效應(yīng)
423.4.1 靜電執(zhí)行器的尺度效應(yīng)
423.4.2 電磁執(zhí)行器的尺度效應(yīng)
433.4.3 壓電執(zhí)行器的尺度效應(yīng)
443.4.4 SMA執(zhí)行器的尺度效應(yīng)
443.5 微機械的尺度效應(yīng)
453.5.1 機器螞蟻的尺度效應(yīng)
463.5.2 微型飛行器的尺度效應(yīng)
463.5.3 微型機器魚的尺度效應(yīng)
47第4章 微型傳感器
494.1 引言
494.2 微型物理量傳感器
494.2.1 微型力學(xué)量傳感器
494.2.2 微型光學(xué)量傳感器
594.2.3 微型熱學(xué)量傳感器
634.2.4 微型聲學(xué)量傳感器
644.2.5 微型磁學(xué)量傳感器
664.3 微型化學(xué)量傳感器
674.3.1 微型氣敏傳感器
684.3.2 微型離子敏傳感器
704.3.3 智能氣體傳感器陣列與電子鼻
734.3.4 MEMS技術(shù)用于檢測痕量爆炸物微粒的研究
784.4 微型生物量傳感器
804.4.1 酶傳感器
814.4.2 免疫傳感器
844.4.3 微生物傳感器
854.4.4 細(xì)胞傳感器
874.4.5 組織傳感器
884.4.6 DNA傳感器
89第5章 微執(zhí)行器
945.1 引言
945.2 靜電微執(zhí)行器
945.2.1 工作原理與特性
945.2.2 靜電旋轉(zhuǎn)電機
965.2.3 靜電直線電機
975.2.4 靜電微泵與微閥
995.2.5 靜電人工肌肉
1005.3 壓電微執(zhí)行器
1015.3.1 工作原理與特性
1015.3.2 壓電微泵
1025.3.3 壓電微閥
1025.3.4 壓電微夾持器
1035.3.5 壓電微電機
1045.4 形狀記憶合金微執(zhí)行器
1055.4.1 工作原理和特性
1055.4.2 主動式內(nèi)窺鏡和導(dǎo)尿管
1075.4.3 微型夾持器
1085.4.4 SMA控溫水閥
1095.5 電磁微執(zhí)行器
1105.5.1 工作原理與特點
1105.5.2 電磁旋轉(zhuǎn)電機
1125.5.3 電磁步進微電機
1125.5.4 混合集成旋轉(zhuǎn)電機
1135.5.5 采用永磁轉(zhuǎn)子的直流微電機
1135.5.6 線性微電機
1155.5.7 電磁微閥
1165.5.8 電磁微開關(guān)
1165.6 鐵磁橡膠執(zhí)行器
1175.6.1 材料制備與性能
1175.6.2 微型游泳機器人
118第6章 真空微電子器件
1236.1 引言
1236.2 工作原理
1266.2.1 基本原理
1266.2.2 真空二極管的FˉN曲線
1286.2.3 Spindt發(fā)射二極管的FˉN曲線
1296.2.4 三極管的 IˉV 特性
1306.2.5 門控場發(fā)射三極管
1316.2.6 集電極控制的場致發(fā)射三極管
1326.3 真空微電子材料
1336.3.1 發(fā)射材料
1336.3.2 表面化學(xué)
1346.3.3 功函數(shù)
1356.4 器件制作
1366.4.1 垂直發(fā)射真空微電子器件
1366.4.2 硅發(fā)射極陣列自排列
1386.4.3 內(nèi)陷式柵極器件
1406.4.4 水平發(fā)射微電子真空器件
1416.5 真空微電子器件的應(yīng)用
1476.5.1 單發(fā)射極的應(yīng)用
1486.5.2 微波放大
1486.5.3 平板顯示
1496.5.4 壓力傳感器
1506.5.5 磁敏傳感器
1516.5.6 光敏傳感探測器
152第7章 典型微系統(tǒng)與應(yīng)用
1547.1 引言
1547.2 微型光開關(guān)
1547.2.1 運用表面微機械技術(shù)制造的自由空間光開關(guān)
1557.2.2 硅基移動微鏡光開關(guān)
1567.2.3 等離子刻蝕硅鏡靜電驅(qū)動光開關(guān)
1577.2.4 基于垂直旋轉(zhuǎn)微鏡的光開關(guān)
1587.2.5 熱光開關(guān)
1587.2.6 氣泡光開關(guān)
1597.3 體內(nèi)微機器人
1607.3.1 引言
1607.3.2 氣動式腸道檢查微機器人
1617.3.3 壓縮空氣驅(qū)動腸道檢查微機器人
1617.3.4 形狀記憶合金主動式內(nèi)窺鏡
1617.3.5 ICPF驅(qū)動的水中移動微小機器人
1617.3.6 外加旋轉(zhuǎn)磁場驅(qū)動的永磁體游泳微機器人
1637.3.7 無線腸胃道檢查“藥丸”
1647.4 微型分析儀器
1657.4.1 微型氣相色譜儀
1657.4.2 微型質(zhì)譜儀
1657.4.3 微型光譜儀
1667.4.4 基因芯片
1687.4.5 微型全分析系統(tǒng)
1737.5 微小型衛(wèi)星
1757.5.1 微小型衛(wèi)星的分類
1757.5.2 微小型衛(wèi)星的發(fā)展歷程及研究現(xiàn)狀
1757.5.3 微小型衛(wèi)星的技術(shù)特點
1807.5.4 微小型衛(wèi)星的發(fā)展模式和階段特征
1827.5.5 微小型衛(wèi)星應(yīng)用的未來實現(xiàn)途徑
1837.6 微型智能武器
1847.6.1 微型智能武器概念
1847.6.2 微型飛行器
1867.6.3 智能子彈
1927.6.4 機器螞蟻
1937.6.5 微型水下機器人
195參考文獻
198