超大規(guī)模集成電路襯底材料性能及加工測試技術工程

定　價：￥39.50

作　者：	劉玉嶺，檀柏梅，張楷亮編著
出版社：	冶金工業(yè)出版社
叢編項：
標　簽：	集成電路

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ISBN：	9787502430504	出版時間：	2002-08-01	包裝：	平裝
開本：	26cm	頁數：		字數：

內容簡介

　　本書介紹了超大規(guī)模集成電路襯底材料硅的性能、硅單晶襯底的加工工藝以及相關的測試技術。共9章：硅單晶及硅化合物的化學性質、硅單晶的加工成形技術、超大規(guī)模集成電路硅襯底的拋光、外延技術、ULSI多層布線全局平坦化、集成電路中的清洗、硅單晶襯底及相關材料的物理性質、硅單晶中的缺陷及其對器件的危害、硅單晶性質的檢測設備與技術。