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半導體材料生長技術

半導體材料生長技術

定　價：￥28.80

作　者：	（美）唐（Tsang，W.T.）主編；江劍平等譯
出版社：	廣東科技出版社；清華大學出版社
叢編項：	當代科技重要著作·信息領域半導體光電子技術叢書
標　簽：	半導體材料

ISBN：	9787535911353	出版時間：	1993-10-01	包裝：	精裝
開本：	20cm	頁數：	443頁	字數：

內容簡介

　　本冊共6章，詳細說明各種Ⅲ-V族化合物半導體的外延生長技術和材料缺陷，討論了液相外延、分子束外延、常壓和低壓金屬有機化學汽相沉積，以及鹵化物和氯化物輸運汽相沉積等各項技術。

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