機電產(chǎn)品微細加工技術(shù)與工藝

　　本書從機電一體化的角度，論述了精密機械和微電子技術(shù)這兩方面的微細加工技術(shù)與工藝，介紹了集成電路的生產(chǎn)技術(shù)、工藝原理和加工方法。

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