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實(shí)用集成電路工藝手冊(cè)

實(shí)用集成電路工藝手冊(cè)

定　價(jià)：￥12.50

作　者： 沈文正等編
出版社： 宇航出版社
叢編項(xiàng)：
標(biāo)　簽： 集成電路
ISBN： 9787800342059 出版時(shí)間： 1989-01-01 包裝：
開(kāi)本： 26cm 頁(yè)數(shù)： 423頁(yè) 字?jǐn)?shù)：  

內(nèi)容簡(jiǎn)介

　　本書(shū)輯錄了集成電路制作所涉及的所有工藝，如硅材料、氧化、擴(kuò)散、光刻與制版、 化學(xué)氣相淀積、鈍化技術(shù)、凈化與清洗、工藝模擬等。

作者簡(jiǎn)介

暫缺《實(shí)用集成電路工藝手冊(cè)》作者簡(jiǎn)介

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