MEMS技術及其應用

定　價：￥18.00

作　者：	李德勝[等]編著
出版社：	哈爾濱工業(yè)大學出版社
叢編項：
標　簽：	微電機

ISBN：	9787560316949	出版時間：	2002-03-01	包裝：	平裝
開本：	21cm	頁數(shù)：	301	字數(shù)：

內容簡介

　　本書共有八章，在概述微機電技術的發(fā)展背景、現(xiàn)狀及應用前景的基礎上，介紹了MEMS基本理論，隨后對MEMS相關工藝做了詳盡的講述。作為MEMS應用，分別介紹了數(shù)種典型的物理量傳感器和化學量傳感器的工作原理及制造工藝，對各類微操作器、微機械零件及電系統(tǒng)也做了比較詳細的論述，最后開辟一章介紹了生物芯片相關技術。本書可作為微電子、機電一體化、精密儀器及儀器儀表等專業(yè)高年級的教學參考書，也可供其他專業(yè)師生及有關工程技術人員參考。

作者簡介

暫缺《MEMS技術及其應用》作者簡介

圖書目錄

第一章　緒論
　1.1　MEMS的定義
　1.2　國內外研究概況及展望
　1.3　納米技術及展望
第二章　MEMS基礎理論
　2.1　尺寸效應
　2.2　微機械常用材料
　2.3　微構造的機械特征
　2.4　微構造的振動特征
　2.5　微構造的熱特征
　2.6　摩擦磨耗的減小辦法
　2.7　微流路中液體的流動
　2.8　微機械的驅動原理
　2.9　超小型機械實現(xiàn)的障礙及對策
第三章　微機械制造技術
　3.1　概述
　3.2　體加工工藝
　3.3　硅表面微機械加工技術
　3.4　結合加工
　3.5　逐次加工
　3.6　LIGA技術
　3.7　微機械加工技術中的微電子工藝和設備
　3.8　本章小結
第四章　MEMS CAD輔助分析設計
　4.1　ANSYS的主要技術特點
　4.2　ANSYS使用上幾個應注意的問題
　4.3　ANSYS的分析步驟
　4.4　微型電磁繼電器受力及磁場分布的ANSYS模擬
　4.5　仿真分析一些經驗
　4.6　本章小結
第五章　微傳感器
　5.1　傳感器的基本物理效應
　5.2　壓阻效應與半導體應變傳感器
　5.3　電容式三維加速度計
　5.4　振動式微陀螺儀
　5.5　微型熱式溫度傳感器
　5.6　微型光柵讀碼器
　5.7　微型磁通門
第六章　微操作器
　6.1　靜電型微操作器
　6.2　電磁型微操作器
　6.3　熱膨脹型微操作器
　6.4　壓電型微操作器
　6.5　微機械零件
第七章　微機電系統(tǒng)　
第八章　生物芯片
參考文獻